Алюминий материалымен таныстыру

Алюминий керамикаКомпоненттерде жоғары қаттылық, жоғары механикалық беріктік, жоғары механикалық беріктік, супер тозу кедергісі, жоғары температураның төзімділігі, жоғары төзімділігі және электр оқшаулау көрсеткіштері жақсы. Олар вакуумдық және жоғары температура сияқты арнайы ортада жартылай өткізгіш өндірісінің негізгі талаптарын қанағаттандыра алады. Олар жартылай өткізгіш өндіріс желілерінде алмастырылмайтын және маңызды рөл атқарады. Олардың қосымшалары барлық дерлік жартылай өткізгіштік жабдықтарды қамтиды және жартылай өткізгіш өндірістік жабдықтардың негізгі компоненттері болып табылады. Жартылай өткізгіш өнеркәсібінің үздіксіз дамуымен алюминий керамикалық компоненттерінің өнеркәсіптік тізбектегі маңызы көбірек болады.

Чиптің мөлшері төмендейтіндіктен, жартылай өткізгіш жабдықтар құрамдас бөліктерде, оның тығыздығы, біркелкілігі, коррозияға төзімділігі және т.б. жоғары деңгейге ие болуы керек. Соңғы жылдары отандық және шетелдік ғалымдар алюминий керамикалық материалдарының унысуын жақсарту үшін түрлі жаңа процестер жасады, олар төменгі температураның төмен температуралы, жарқын, суық және тербелмелі қысыммен күресуі мүмкін. Олардың ішінде суық суық - бұл өтпелі еріткішті қосу және керамикалық ұнтағы бөлшектер мен диффузияны жақсарту үшін үлкен қысымды (350 ~00MPA) қолданыңыз, сондықтан керамикалық ұнтақты төмен температурада (120 ~ 300 ℃) және қысқа уақытқа созу үшін қолданыңыз.

Қазіргі уақытта ғаламдық интеграцияланған тізбектелген шығарылым процесі 3-нанометр деңгейінде дамыған процессте дамыды. Жартылай өткізгіш жабдық және жартылай өткізгіш жабдық дәлдігі үздіксіз компоненттері үнемі дамып, жаңартылуы керек, ал өңдеуді жақсарту үшін процестерді жақсарту қажет. Жартылай өткізгіш жабдықтары жаңартылғаннан кейін компоненттерге арналған жаңа жабдықтың нақты талаптары синхронды өзгереді. Жартылай өткізгіш технологияның дамуымен алюминий керамикалық компоненттеріне қойылатын талаптар жоғарырақ және одан жоғары, соның ішінде тозуға төзімді, жоғары температураға төзімділігі, жоғары температураға төзімділігі және электр оқшаулағыш. Салалық тенденциялар жоғары тазалықты, алюминий ұнтағының жабдықтарын және озық дайындық технологияларын қолданады.

Алюминий керамикасыЖартылай өткізгіш өрісте қолданылған кезде, бүгінде 99,5% -дан жоғары тазалыққа қатысты талаптар өте жоғары. Жартылай өткізгіш өрісте алюминий керамикалық бөліктері жартылай өткізгіш жабдықтардың негізгі бөліктерінің бірі болып табылады. Олардың көпшілігі камераларда вафлиге жақын орналасқан. Жартылай өткізгіш жабдықтарда олар қолдану арқылы жіктеледі және негізінен гилдингтер, ауа ағындары, жүк көтергіш, қолмен бекітілген, модульдер, модульдер және т.б. бөлінеді.

Плазма кезінде вафлидің ластануын азайту үшін, плазмалық ластануды азайту үшін, жоғары тазалық алюминий жабындары немесе мықты коррозияға төзімділігі бар алюминий керамикасы, Калата және камералық төсеу үшін қорғаныс материалдары ретінде таңдалады.

Плазмалық тазарту процесінде фтор және хлор сияқты жоғары реактивті галоген элементтері бар коррозиялық газдар қолданылады. Газ саптамасы әдетте жоғары плазмалық қарсылық, диэлектрлік беріктігі, диэлектрлік беріктігі және газдар мен жан-жақтарға қатты коррозияға төзімділігі бар алюминий керамикасынан жасалған. Сонымен бірге, газ ағынын дәл бақылау үшін ішкі дәлдік құрылымы қолданылады.

Жартылай өткізгішті өндіріс процесінде вафли вафли, мысалы, ион имплантациясы және т.б., мысалы, ион имплантациясы және т.б. Алюминий вафли тасымалы жақсы термиялық өткізгіштікке ие және вафлидің ыстығын тиімді таратып, экспорттай алады, осылайша вафлиді жылу зақымынан қорғайды.

Вафлилерді өңдеуде алюминий керамикасынан жасалған керамикалық роботты қолы пайдаланылатын болады. Ол вафлиді өңдеу роботына орнатылады, ол роботтың қолына тең. Ол вафлиді белгіленген жерге жеткізуге жауап береді, ал оның беті вафлимен тікелей байланыста. Вафтерлер басқа бөлшектердің ластануына өте сезімтал болғандықтан, олар әдетте вакуумдық ортада жүзеге асырылады. Бұл ортада көптеген материалдардың роботты қолдары, әдетте, жұмысты аяқтау қиынға соғады. Роботикалық қаруды жасау үшін пайдаланылатын материалдар жоғары температураға, тозуға төзімді және жоғары қаттылықты қажет етуі керек. Еңбек жағдайлары талаптарына сәйкес, олар әдетте алюминий керамикалық материалдардан жасалған, ал керамикалық бөлшектердің дәлдігі мен бетінің дәлдігі мен бетінің дәлдігі мен тұрмысынан тұрады.

Subicorex жоғары сапалы ұсынадыАлюминий керамикалық бөліктеріЖартылай өткізгіште, соның ішінде SIC жабындары және TAC жабындары. Егер сізде қандай-да бір сұраныс болса немесе қосымша мәліметтер қажет болса, бізбен байланыста болудан тартынбаңыз.

Байланыс телефоны # + 86-13567891907

Электрондық пошта: sales@semicorex.com