Неліктен SiC қапталған графит сенсорларын таңдау керек?

Графитті сезгішMOCVD жабдығының маңызды бөліктерінің бірі болып табылады, вафельді субстратты тасымалдаушы және қыздырғыш болып табылады. Оның термиялық тұрақтылық және термиялық біркелкілік қасиеттері пластинаның эпитаксиалды өсу сапасында шешуші рөл атқарады, бұл қабат материалдарының біркелкілігі мен тазалығын тікелей анықтайды, нәтижесінде оның сапасы эпитаксиді дайындауға тікелей әсер етеді. Бұл арада, пайдалану санының көбеюімен және еңбек жағдайларының өзгеруімен, жоғалту өте оңай және шығын материалдарына жатады. Графиттің тамаша жылу өткізгіштігі мен тұрақтылығы оны жақсы артықшылыққа айналдырадыMOCVD жабдығына арналған негізгі компонент. Дегенмен, егер тек таза графит қолданылса, ол кейбір мәселелерге тап болады. Өндіріс процесінде коррозиялық газ және металдың органикалық қалдықтары болады, ал графит негізі коррозияға ұшырайды және ұнтақты түсіреді, бұл құрылғының қызмет ету мерзімін едәуір қысқартады.графитті сезгіш, және құлаған графит ұнтағы да чиптің ластануын тудырады, сондықтан негізді дайындау процесінде де Бұл мәселелерді негізді дайындау кезінде шешу қажет. Қаптау технологиясы беткі ұнтақты бекітуді қамтамасыз ете алады, жылу өткізгіштігін арттырады және жылуды бөлуді теңестіреді, бұл мәселені шешудің негізгі технологиясына айналады. Негізгі технология - бұл мәселені шешу. Қолдану ортасы мен талаптарына сәйкесграфитті сезгіштер, беттік жабын келесі сипаттамаларға ие болуы керек.

Жоғары тығыздық және толық орау: тұтастай алғанда графит негізі жоғары температурада, коррозиялық жұмыс ортасында, беті толығымен оралған болуы керек, ал жабын жақсы қорғаныс рөлін атқару үшін жақсы тығыздыққа ие болуы керек.

Жақсы бет тегістігі: монокристалды өсіру үшін қолданылатын графит негізі өте жоғары бет тегістігін қажет ететіндіктен, жабын дайындалғаннан кейін негіздің бастапқы тегістігі сақталуы керек, яғни жабын беті біркелкі болуы керек.

Жақсы байланыстыру беріктігі: Графит негізі мен жабын материалы арасындағы термиялық кеңею коэффициентінің айырмашылығын азайту олардың арасындағы байланыстыру беріктігін тиімді түрде жақсарта алады және жабын жоғары және төмен температуралық термиялық циклдардан кейін жарылып кету оңай емес.

Жоғары жылу өткізгіштік: жоғары сапалы чип өсуі графиттік негізден жылдам және біркелкі жылуды қажет етеді, сондықтан жабын материалы жоғары жылу өткізгіштікке ие болуы керек.

Жоғары балқу температурасы, жоғары температурада тотығу және коррозияға төзімділік: жабын жоғары температурада және коррозиялық жұмыс орталарында тұрақты жұмыс істей алуы керек.