CVD пешін талқылау

а деген неCVD пеші?

CVD (Химиялық будың тұндыру) пеші - жартылай өткізгіш өнеркәсібінде әртүрлі материалдардың жұқа қабықшаларын субстратқа салу үшін қолданылатын пештің бір түрі. Процесс вакуумда немесе төмен қысымды ортада, қажетті жұқа пленканы қалыптастыру үшін субстрат материалымен әрекеттесетін реактивті газды пайдалана отырып жүзеге асырылады. CVD пеші микрочиптерді, күн батареяларын және басқа да электронды құрылғыларды шығарудың маңызды құралы болып табылады.

CVD пеші қалай жұмыс істейді?

CVD пешікамераның ішінде төмен қысымды ортаны құру және камераға реактивті газды енгізу арқылы жұмыс істейді. Газ субстрат материалымен әрекеттеседі және субстрат бетінде жұқа қабықша түзеді. Процесс жоғары температурада, әдетте 500°C-ден 1200°C-қа дейін, тұндырылатын материал түріне байланысты жүзеге асырылады.

Субстрат материалы пеш камерасының ішіне орналастырылады, ал камера тығыздалады. Содан кейін реактивті газ камераға енгізіледі және жоғары температураға дейін қызады. Газ молекулалары субстрат материалымен әрекеттеседі, нәтижесінде алынған өнім субстрат бетінде жұқа қабықша түзеді.

CVD пешінің қолданылуы қандай?

CVD пешіжартылай өткізгіштер өнеркәсібінде қолданудың кең ауқымы бар, соның ішінде:

1. Микрочиптерді жасауда қолданылатын кремний диоксиді, кремний нитриді және басқа диэлектрлік материалдарды тұндыру.

2. Микрочиптерді өндіруде қолданылатын полисилиций мен басқа да өткізгіш материалдарды тұндыру.

3.Микрочиптің әртүрлі қабаттары арасындағы өзара байланыста қолданылатын алюминий және мыс сияқты металл пленкаларды тұндыру.

4. Күн батареяларын өндіру үшін жұқа қабықшаларды тұндыру.

5. Тозуға төзімді бөлшектер мен құралдарды өндіруге арналған жабындарды тұндыру.

Қорытындысында,CVD пешімикрочиптерді, күн батареяларын және басқа электрондық құрылғыларды өндіруге мүмкіндік беретін жартылай өткізгіш өнеркәсібі үшін маңызды құрал болып табылады. Ол камераның ішінде төмен қысымды ортаны құру және жұқа пленка қалыптастыру үшін субстрат материалымен әрекеттесетін реактивті газды енгізу арқылы жұмыс істейді. Оның қолдану аясы кең және алуан түрлі, бұл оны заманауи технология үшін маңызды құрал етеді.