Керамикалық жылытқыштар

Жартылай өткізгіш өндірісінің алдыңғы процесіне (FEOL) (FEOL)вафлиӘр түрлі технологиялық емдеуге, әсіресе вафлиді белгілі бір температураға дейін қыздыру қажет, және қатаң талаптар бар, өйткені температураның біркелкілігі өнімнің шығымдылығына өте маңызды әсер етеді; Сонымен бірге, жартылай өткізгіш жабдықтар вакуум, плазмалық және химиялық газдар болған жағдайда, керамикалық жылытқыштарды қолдануды қажет етеді.Керамикалық жылытқыштарЖұбайы тәрізді пленкалы жабдықтардың маңызды компоненттері. Олар процесс камерасында қолданылады және вафлиге тікелей вафлиді тұрақты және біркелкі технологиялық температураны алуға және жұқа қабықшаларды жасау үшін вафлиді алып, қосуға мүмкіндік береді.

Керамикалық жылытқыштар пайдаланатын жұқа пленкалармен тұндыру жабдығы жоғары температураларды қамтиды, негізінен алюминий нитридіне (ALN) негізінен қолданылатын керамикалық материалдар қолданылады. Алюминий нитридінің электр оқшаулағыштары бар және керемет термиялық өткізгіштікке ие болғандықтан; Сонымен қатар, оның жылу кеңею коэффициенті кремнийге жақын, және оның өте жақсы плазмалық кедергісі бар, ол жартылай өткізгіш жабдық компонентінің құрамдас бөлігі ретінде пайдалануға жарамды.

Электростатикалық Чактар ​​(ESCS) негізінен жабдықтарды, негізінен алюминий оксиді (AL2O3) арқылы қолданылады. Электростатикалық Чактың құрамында сонымен қатар жылытқыш бар, өйткені мысалы, құрғақ ішке ие болып, белгілі бір сипаттаманы сақтау үшін, құрғақ температурада вафлиді -70 ℃ ~ 100 ℃ диапазонындағы вафлиді басқару қажет. Сондықтан вафлиді электростатикалық Чакты қыздыру немесе тарату қажет, оны вафли температурасын дәл бақылау керек. Сонымен қатар, вафли бетінің біркелкілігін қамтамасыз ету үшін электростатикалық кюктер процесті жақсарту үшін әр температура реттегіш аймағының температурасын бөлек басқару үшін температура реттегішін көбейтуі керек. Әрине, технологияның дамуымен дәстүрлі керамикалық жылытқыштар мен электростатикалық Чактар ​​арасындағы айырмашылық бұлыңғыр бола бастады. Кейбір керамикалық жылытқыштар жоғары температуралы жылыту және электростатикалық адсорбцияның қос функциялары бар.

Керамикалық жылытқышқа вафлиді және оның артқы жағында қолдайтын цилиндрлік тіреуіш кіретін керамикалық негіз бар. Керамикалық базаның ішіне немесе бетіне, қыздыруға қарсы тұру элементіне (жылыту қабатына) қосымша, сонымен қатар радиожиілік электродасы (радио жиілік қабаты) бар. Жылдам қыздыруға және салқындатуға қол жеткізу үшін керамикалық негіздің қалыңдығы жұқа болуы керек, бірақ тым жұқа, бірақ қаттылықты азайтады. Жылытқыштың қолдау органы әдетте негізге ұқсас жылу кеңею коэффициентімен жасалған материалдан жасалған, сондықтан қолдау органы көбінесе алюминий нитридінен де жасалады. Жылытқыш төменгі жағындағы біліктің (біліктің) буынының бірегей құрылымын қабылдайды, ол плазма мен коррозиялық химиялық газдардың әсерінен терминалдар мен сымдарды қорғай алады. Жылу өткізгіштік газдалған газ құю және шығыс құбыры жылытқыштың біркелкі температурасын қамтамасыз ету үшін қолдау корпусында беріледі. Базалық және қолдау органы байланыстырушы қабатпен химиялық байланысқан.

Subicorex жоғары сапалы ұсынадыКерамикалық жылытқыштар. Егер сізде қандай-да бір сұраныс болса немесе қосымша мәліметтер қажет болса, бізбен байланыста болудан тартынбаңыз.

Байланыс телефоны # + 86-13567891907

Электрондық пошта: sales@semicorex.com