Жартылай өткізгіштер керамикалық бөліктері

Жартылай өткізгіштер керамикалық бөліктері алдыңғы қатарлы керамикаға жатады және жартылай өткізгішті өндіріс процесінің ажырамас бөлігі болып табылады. Дайындық үшін шикізат, әдетте, алюминий оксиді, кремнийлі карбид, алюминий нитрид, кремнийлі нитрид, гитрий оксиді, цирконий оксиді, цирконий оксиді, цирконий оксиді

Алюминий оксиді

Ол кеңінен қолданылады, ал өнімнің өнімділігі тазалыққа байланысты өзгереді. 95% тазалық ашық сары, ал 99% тазалық - Ақ қарлы. Оның керемет қаттылығы, беріктігі, күші, тозуға төзімділігі, жоғары температураға төзімділігі мен коррозияға төзімділігі жоғары және керамикалық саптамалар, керамикалық саптамалар, керамикалық қару және т.б.

Кремний карбиді

Ол қара, жылу өткізгіштік, жоғары беріктігі, беріктігі мен қаттылығы, жеңіл салмағы, жарықтандырғыш жақсы, жақсы соққыға төзімділік, көбінесе вакуумдық қару мен вакуумдық сүзбе кубогын дайындау үшін қолданылады.

Алюминий нитрид

Ол жоғары жылу өткізгіштікке ие, кремнийге сәйкес келетін жылу кеңейту коэффициенті, төмен диэлектрлік тұрақты және диэлектрлік шығындар, және жылуды тарату субстраларын, керамикалық саңылаулар мен т.б.

Кремний нитриді

Жоғары балқу, ультра жоғары қаттылық, жоғары химиялық инерстер, жылу кеңейту коэффициенті, жоғары термиялық өткізгіштік, жоғары жылулыққа төзімділік, жоғары термиялық төзімділік, жоғары термиялық төзімділік, әсерлі төзімділік және беріктік, көбінесе керамикалық субстрат, керамикалық түтіктер және т.б.

Yttrium оксиді

Жоғары балқу, жақсы химиялық және фотохимиялық тұрақтылық, жоғары жылу өткізгіштік, жақсы жеңіл өткізгіштік, жақсы жеңіл таратқыш, көбінесе керамикалық терезелер жасау үшін алюминиймен біріктіріледі.

Цирконий оксиді

Жоғары механикалық беріктіктің, жоғары температураға төзімділік, қышқыл және сілтілерге төзімділік, жақсы оқшаулау, әр түрлі мазмұнға сәйкес, әр түрлі мақсаттарда, мысалы, интеграцияланған схемалар және т.б.

Бөлшектердің түрлері:

Әр түрлі функциялары бар жартылай өткізгіштер керамикалық бөліктері жартылай өткізгіштік кілттердің әр түрлі түрлерінде кеңінен қолданылады, оның ішінде келесілер:

Жартылай өткізгіштік керамикалық білігі

Жетекшідегі жабдықта рөл атқарады және вафлиді тасымалдаған кезде және вакуумды таза ортада жұмыс істеу керек. Әдетте жоғары тазалық алюминий немесе кремний карбидімен дайындалған, алюминий үнемді және көбірек қолданылады.

Керамикалық субстрат

Электрондық құрылғылар, лазерлер және т.б. сияқты әр түрлі электронды орамаларда қолданылады және көбінесе алюминий және кремний нитридi сияқты материалдармен дайындалады.

Керамикалық саптама

HDP-CVD-де оның сапасы реакция газының тазалыққа және ағын-ағынына әсер етеді. Алюминий нитридті керамика керемет нәтижелеріне байланысты озық технологиялық жабдықтарға қолайлы.

Керамикалық терезе

Бұл жартылай өткізгіш цечердің негізгі құрамдас бөлігі. Бұл вакуумды плазманың енуіне әсер етпей жабық болуы мүмкін. Ол әдетте жоғары тазалық алюминий мен yttrium оксидінен тұрады.

Керамикалық палатаның қақпағы

Бұл вафлидің сапасын және реакция камерасының герметикалануын қамтамасыз ету үшін өте маңызды жұқа пленкалар жабдықтарының негізгі құрамдас бөлігі болып табылады.

Керамикалық вакуумдық Чак

Ол кремний вафлиін орналастыру және бекіту үшін қолданылады. Бұл екі керамикалық материалдардан жасалған кеуекті керамика.

Дайындық процесі:

«Қолөнерші» жартылай өткізгіштер керамикалық бөлшектерін дайындау процесі күрделі, негізінен келесі кезеңдерді қосқанда:

Ұнтақты дайындау

Шикізатты қайта өңдеу керек, ал талаптарға сәйкес келетін шикі ұнтақ пакеттік, механикалық шарды фрезерлеу, механикалық кептіру және басқа процестер арқылы алынады.

Ұнтақты қалыптастыру

Құрғақ басу, изостатикалық баспалар, таспа құю, инъекциялық қалыптау, гельді инъекциялық қалыптау және басқа да әдістерді керамрикальды жасыл денеге салу үшін жиі қолданылады.

Жоғары температура

Керамикалық жасыл денесі тығыз пісірілген денеге қалыпты қысыммен, вакуумды, агрегатпен, атмосферада және басқа әдістермен айналады.

Дәлдік техника

Керамикалық дайындалған денесі қажетті мөлшерде және дәлдікке қол жеткізу үшін CNC ватсаптарымен, ұнтақтағыштармен, ұнтақтағыштармен өңделеді.

Сапаны тексеру

Керамикалық бөлшектердің сыртқы түрі, мөлшері, кеуекті және басқа қасиеттері өнімнің сапасын қамтамасыз ету үшін тексеріледі.

Беттік өңдеу

Сапа инспекциясынан өтетін өнімдердің беті тазартылып, арнайы қажеттіліктер үшін арнайы қажеттіліктер үшін, мысалы, ARC бүрку, плазмалық бүрку және т.б.

Subicorex жоғары сапалы ұсынадыкерамикалық бөліктержартылай өткізгіште. Егер сізде қандай-да бір сұраныс болса немесе қосымша мәліметтер қажет болса, бізбен байланыста болудан тартынбаңыз.

Байланыс телефоны # + 86-13567891907

Электрондық пошта: sales@semicorex.com