SIC-тегі TAC жабынының артықшылықтары

Қазіргі уақытта кремний карбидінің жартылай өткізгіштерінің үшінші буыны басым. Кремний карбиді құрылғыларының өзіндік құн құрылымында, субстраттар 47% құрайды, ал эпитакси 23% құрайды. Осы екі компонент бірге өндірістің жалпы құнының 70% құрайды, бұл оларды кремний карбидінің өндіріс желісінде шешуші етіп жасайды. Демек, кремний карбидінің біртұтас кристалдарының кірістілік мөлшерлемесін жақсарту, және осылайша субстраттардың құнын азайтады - SIC құрылғысының өндірісіндегі ең маңызды мәселелердің бірі болды.

Жоғары сапалы, жоғары өнімді дайындауКремний карбид субстраттары, өндіріс температурасын дәл бақылау үшін жылу далалық материалдардың қажеті бар. Қазіргі уақытта қолданыстағы Жылулық өрісі ең алдымен, температураны ұстап тұрып, балқытылған көміртекті және кремний ұнтақтарын жылыту үшін жұмыс істейтін жоғары сапалы графит құрылымынан тұрады. Графиттік материалдар жоғары, модульге, керемет термиялық кедергіні, жақсы коррозияға қарсы тұрақтылықты және жақсы коррозияға қарсы тұрақтылықты көрсетеді, сонымен қатар олар өте жақсы кемшіліктер бар: олар жоғары температуралы оттегі ортасында тотығуға бейім, аммиакқа қарсы тұра алмайды және тырнаққа төзімділік нашар. Бұл шектеулер кремний карбидінің біртұтас кристалдарының өсуіне және графит материалдарының дамуын және практикалық қосымшаларын шектеуді шектейтін силикон карбидінің бір кристалдарының өсуіне және силиконның өндірісіне кедергі келтіреді. Нәтижесінде, тантал көмірбидi сияқты жоғары температуралы жабындар тартылуда.

Тантал көмірсутегі қапталған компоненттердің артықшылықтары

ЕнгізуТантал Карбид (TAC) жабындарыЖиілік ақауларына қатысты мәселелерді шешіп, кристалды өсудің сапасын арттыра алады. Бұл тәсіл «жылдам, қалың және одан да ұзақ» негізгі техникалық мақсатына сәйкес келеді. Салалық зерттеулер көмірсутегі көмірсутегі қапталған графигі бар кристаллдың жақсы жылуына қол жеткізе алатындығын, біртұтас кристалды өсуді қамтамасыз ететін және SIC кристалдарының жиектерінде поликристалды түзілу ықтималдығын едәуір төмендететіндігін көрсетеді. Сонымен қатар,Тантал көмірсутегі жабыныЕкі негізгі артықшылықты ұсынады:

1. SIC ақауларын болжай отырып

Әдетте SIC біртұтас кристалдарында ақауларды бақылаудың үш негізгі стратегиясы бар. Өсім параметрлерін оңтайландырудан басқа, жоғары сапалы бастапқы материалдарды (мысалы, SIC көзі ұнтағы) пайдалану, тантал карбидімен қапталған графитті графитті кристалды сапаны жақсартуға да ықпал етуі мүмкін.

2. Графиттің крестрлерінің өмірін жақсарту

SIC кристалдарының құны жоғары болды; Графиттік шығын материалдардың шамамен 30% құрайды. Графит компоненттерінің қызмет ету мерзімін ұлғайту шығындарды азайту үшін өте маңызды. Британдық зерттеу тобының мәліметтері танталға карбид жабындары графит компоненттерінің қызмет ету мерзімін 30-50% -ға ұзарта алатындығын көрсетеді. Осы ақпарат негізінде дәстүрлі графитті тантал көлігімен қапталған графитпен алмастыру SIC кристалдарының құнын 9% -15% төмендетуі мүмкін.

Subicorex жоғары сапалы ұсынадыТантал көмірсущыКрескалар, сезімтал және басқа да жеке бөлшектер. Егер сізде қандай-да бір сұраныс болса немесе қосымша мәліметтер қажет болса, бізбен байланыста болудан тартынбаңыз.

Байланыс телефоны # + 86-13567891907

Электрондық пошта: sales@semicorex.com